مشخصات مقاله:
عنوان فارسی مقاله:
جبران سازی پسماند سنسور فشار پیزو – مقاومتی سیلیکونی
عنوان انگلیسی مقاله:
The Compensation for Hysteresis of Silicon Piezoresistive Pressure Sensor
کلمات کلیدی مقاله:
مدل عمومی پریساک، مشخصه پسماند، سنسور فشار سیلیکونی
مناسب برای رشته های دانشگاهی زیر:
مهندسی برق
مناسب برای گرایش های دانشگاهی زیر:
مهندسی کنترل، مهندسی الکترونیک
وضعیت مقاله انگلیسی و ترجمه:
مقاله انگلیسی را میتوانید به صورت رایگان با فرمت PDF از باکس زیر دانلود نمایید. ترجمه این مقاله با فرمت WORD – DOC آماده خریداری و دانلود آنی میباشد.
فهرست مطالب:
چکیده
1. مقدمه
2. عواملی در مشخصه پسماند سنسور فشار سیلیکونی
3. آزمایش ضروری و شرایط کافی برای سنسور فشار سیلیکونی
A. آزمایش خاصیت پاکسازی
B. آزمایش خاصیت تجانس وترهای عمودی
4. تشکیل مدل عمومی پریساک برای سنسور فشار سیلیکونی
5. تشکیل مدل عمومی معکوس پریساک
6. آزمایش جبرانسازی برای خطای پسماند سنسور
7. نتیجه گیری
قسمتی از مقاله انگلیسی و ترجمه آن:
Abstract
The aim of this paper is to examine compensating for the hysteresis error of silicon pressure sensor in order to improve the sensor accuracy. The object of investigation is large-range diffused silicon piezoresistive pressure sensors in the industrial field, based on MEMS technology. Due to the complex hysteresis characteristic of the sensor and difficulties in compensation, there are currently no published precedents in relevant studies. The author has analyzed the causation and impacting factors of the hysteresis characteristic and demonstrated, through experiment, that the silicon pressure sensor does satisfy the necessary and sufficient conditions of the general Preisach model. Through utilizing the Preisach model of the sensor and compensating for the hysteresis error using the compensation algorithm on inverse general Preisach model, the experiment has demonstrated that the hysteresis error decreases significantly after compensation, hence enhancing the precision of the sensors.
چکیده
هدف این مقاله، بررسی جبرانسازی خطای پسماند از سنسور فشار سیلیکونی به منظور بهبود دقت و درستی سنسور می باشد. هدف این بررسی، اشاعۀ سنسورهای فشاری پیزومقاومتی سیلیکونی در زمینۀ صنعتی در گستره-ای بزرگ و بر اساس تکنولوژی MEMS می باشد. به دلیل مشخصۀ پیچیدۀ پسماند این سنسور و دشواری هایی در جبرانسازی آن، در حال حاضر هیچگونه نمونه و پیش نویس هایی در مطالعات مرتبط با آن وجود ندارد. نویسنده عوامل مسبب و تأثیرگذار مشخصۀ پسماند را مورد تجزیه و تحلیل قرار داده و از طریق آزمایش آنها را آشکار و اثبات نموده است، که در آن سنسور فشار سیلیکونی شرایط لازم و کافی مدل عمومی پریساک را برآورده می-سازد. به وسیلۀ استفادۀ مدل پریساک از سنسور و جبرانسازی برای خطای پسماند با استفاده از الگوریتم جبرانسازی بر مدل معکوس عمومی پریساک، این آزمایش نشان داده است که خطای پسماند پس از جبرانسازی به طرز قابل توجهی کاهش می یابد، از اینرو دقت سنسور را نیز افزایش می دهد.