ترجمه مقاله روش سنجش تغییر شکل سه بعدی جدید در میکروسکوپ نوری برای آزمون بالج میکرومقیاس – سال 2017
مشخصات مقاله:
عنوان فارسی مقاله:
روش سنجش تغییر شکل سه بعدی جدید در میکروسکوپ نوری برای آزمون بالج میکرومقیاس
عنوان انگلیسی مقاله:
A novel 3D deformation measurement method under optical microscope for micro-scale bulge-test
کلمات کلیدی مقاله:
میکرو مقیاس، سنجش تغییرشکل سه بعدی، آزمون بالج، گریتینگ، میکروسکوپ نوری
مناسب برای رشته های دانشگاهی زیر:
فیزیک، مهندسی مکانیک، مهندسی مواد
مناسب برای گرایش های دانشگاهی زیر:
اپتیک و لیزر، طراحی جامدات، شناسایی و انتخاب مواد مهندسی
وضعیت مقاله انگلیسی و ترجمه:
مقاله انگلیسی را میتوانید به صورت رایگان با فرمت PDF از باکس زیر دانلود نمایید. ترجمه این مقاله با فرمت WORD – DOC آماده خریداری و دانلود آنی میباشد.
فهرست مطالب:
چکیده
1. مقدمه
2. پیش زمینه نظری
2.1 اصول اساسی
2.2 آنالیز دقت
3. توصیف روش
3.1 روش سنجش سه بعدی برای آزمون بالج
3.2 دستگاه
3.3 آماده سازی نمونه
3.4 آزمایش آزمون بالج
4. نتایج و بحث
5. نتیجه گیری
قسمتی از مقاله انگلیسی و ترجمه آن:
1. Introduction
With increasing applications of thin films in many areas [1–4], the mechanical property characterization of thin films is crucial. Conventional applied methods, such as the wafer curvature method based on the Stoney’s formula and the nano-indentation method [5,6], have been applied to characterize the mechanical properties of the thin films. Although the wafer curvature method is easy to implement and applied to measure the residual stress of the films, it’s hard to extract other properties of the films. The nano-indentation test can be used to characterize the elastic-plastic properties of the film, but influences of substrates can’t be eliminated. So the above mentioned methods have limitations for the mechanical properties characterization of thin films.
To characterize the mechanical properties of free-standing films, micro-tensile test and bulge-test were developed. The micro-tensile test can measure the intrinsic properties of the films directly and constitutive behaviors with the increasing load applied [7].
1. مقدمه
با افزایش کاربرد فیلم های نازک در بیشتر بخشها، مشخص کردن ویژگی مکانیکی فیلم های نازک ضروری است. روش های کاربردی عادی، مانند روش انحنای ویفر مبتنی بر فرمول استونی و روش نانو فروروی، برای مشخص کردن ویژگی های مکانیکی فیلم های نازک به کار رفته اند. اگرچه اجرای روش انحنای ویفر ساده است و برای سنجش تنش باقیمانده فیلم ها به کار می‌رود، ولی استخراج سایر ویژگی های فیلم سخت است. آزمون نانو فروروی را می‌توان برای مشخص کردن ویژگی های الاستیک-پلاستیک فیلم به کار برد، ولی اثرات زیرلایه ها را نمی‌توان حذف کرد. بنابراین این روشها، محدودیت هایی برای مشخص کردن ویژگی های مکانیکی فیلم های نازک دارند.
برای مشخص کردن ویژگی های مکانیکی فیلم های خودایستا، آزمون کشش میکروسکوپی و آزمون بالج ایجاد شدند. آزمون کشش میکروسکوپی می‌تواند ویژگی های درونی فیلم ها را به صورت مستقیم و رفتارهای ساختاری را با افزایش بار کاربردی، اندازه گیری کند.
